主轴安装结构及分子泵.pdfVIP

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  • 2023-07-19 发布于四川
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本发明提供了一种主轴安装结构及分子泵,包括:轴承、轴承座、波形弹簧、调整垫片以及减振圈;所述轴承设置在主轴的两端,所述轴承座上设置有第一安装凹槽,所述轴承位于所述第一安装凹槽内;所述第一安装凹槽的内周侧壁上设置有第二安装凹槽,所述减振圈设置在所述第二安装凹槽内,所述减振圈用于在所述轴承的径向方向对所述轴承进行减振;所述波形弹簧设置在所述第一安装凹槽的底部侧壁上,所述调整垫片设置在所述轴承和所述波形弹簧之间,所述波形弹簧用于限位所述主轴的轴向窜动。本发明的结构设计使得分子泵的主轴安装、减振和润滑结

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116447163 A (43)申请公布日 2023.07.18 (21)申请号 202310450737.2 (22)申请日 2023.04.24 (71)申请人 上海裕达实业有限公司 地址 20

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