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本实用新型涉及晶圆干燥技术领域，尤其涉及晶圆干燥设备，包括：装置本体，所述装置本体上转动设置有放料门，所述放料门的一侧安装有控制器，所述装置本体内固定安装有支撑杆，所述支撑杆上设置有固定块，所述固定块内连接有伸缩杆，所述伸缩杆为电动杆，所述伸缩杆的一侧固定设置有夹片，所述夹片上胶接有软垫，所述装置本体的内壁上内嵌有加热环，所述加热环的外侧设置有喷液器，所述支撑杆的底侧安装有过滤网，本实用新型，减少了干燥吹风时风向对着晶圆直吹的可能，降低了干燥晶圆时需要的时间，提高了装置对晶圆正反转均能清洗的效果
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219371004 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202223502397.3 H01L 21/67 (2006.01)
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