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本实用新型提供一种外径量测装置及硅片制造设备，装置包括在一基准方向上间隔布置的两个量测组件，量测组件包括主动件、从动件、伺服电机、第一传感器和第二传感器；从动件与主动件连接，且主动件转动以驱动从动件沿基准方向移动；伺服电机与主动件连接，以驱动主动件转动；第一传感器设于从动件上，且两个量测组件各自的第一传感器沿基准方向共线排布，第一传感器与被测物接触时伺服电机停止驱动主动件转动，且伺服电机输出从动件沿基准方向的第一行程信息；第二传感器设于从动件上，用于输出从动件沿基准方向的第二行程信息。如此，第一
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219368711 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320474961.0
(22)申请日 2023.03.13
(73)专利权人 上海新昇半导体科技有限公司
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