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本实用新型实施例公开了一种检测装置，将操作臂配置为相对于导向杆滑动，并将干涉光纹发生部设置在操作臂的驱动端上。以使得照射面可直接对工件的待检测区域照射干涉光纹。同时，通过跟随运动的感光体，可将光纹图像传输至显示器进行显示。由此，一方面，通过导向杆可以使照射面相对于待检测区域平行运动，保证照射面在移动的过程中与待检测区域的位置精度。另一方面，将第一臂段和第二臂段垂直布置，当位于第二臂段通过转动关节转动时，可以保证照射面相对于待检测区域的距离不变，避免了照射面与待检测区域之间的距离变化。以使检测装置
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219368653 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320534379.9
(22)申请日 2023.03.17
(73)专利权人 昆山联滔电子有限公司
地址 2
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