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本实用新型是一种具有晶圆冷却的输送机台，设置有一置料区及一待料区，是供输送多个晶圆从置料区移动到至少一制成处理装置以进行晶圆制成作业，其中输送机台包括一移戴装置、至少一汲取装置及一冷却装置，移戴装置是对应置料区及待料区，并供晶圆在置料区及待料区之间移载；汲取装置是对应移戴装置设置，并供汲取移戴装置承接移载的晶圆至制成处理装置，以及汲取已进行制成作业的晶圆并移戴至冷却装置；冷却装置是对应待料区的正上方设置，当汲取装置移戴已进行制成作业的晶圆至冷却区时，冷却装置供冷却晶圆至一预定温度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219370997 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320662780.0
(22)申请日 2023.03.30
(73)专利权人 瀚钧国际有限公司
地址 中国台
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