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本实用新型公开了一种电子束观察棱镜直联调节装置，包括调节装置主体，所述调节装置主体包括顶杆和传动机构，所述传动机构包括电机，所述电机右侧连接传动壳体，所述传动壳体内设有滑块，所述滑块的一端连接所述顶杆，所述顶杆的另一端贯穿电子束发生器壳体连接观察棱镜，所述顶杆与所述传送机构之间的连接方式为一字型直联。本实用新型采用上述的一种电子束观察棱镜直联调节装置，更可靠的保证了清晰成像的稳定性，避免装置内部结构受力变形。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219358253 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320600748.X
(22)申请日 2023.03.24
(73)专利权人 河北众航高能科技有限公司
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