原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及半导体设备技术领域，公开了一种用于纳米压印的辊压模组，包括外框体、压辊组件和模片张紧组件；其中外框体底部设置有安装位；压辊组件设置于外框体的顶部，压辊组件包括与外框体滑动连接的辊架、与辊架滑动连接的压力辊、驱动压力辊沿外框体长度方向运动的第一驱动组件、以及用于驱动辊架沿外框体高度方向运动的第二驱动组件；模片张紧组件设置于压力辊的下方并与安装位相配合。本实用新型解决的技术问题是致力于开发一种通用性和压印效率更高的用于纳米压印的辊压模组。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219370198 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320066908.7
(22)申请日 2023.01.10
(73)专利权人 深圳市雕拓科技有限公司
地址
文档评论（0）