一种节能型真空镀膜设备.pdfVIP

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2023-07-20 发布于四川
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一种节能型真空镀膜设备.pdf

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本实用新型公开了一种节能型真空镀膜设备，包括：后壳和前壳的顶部设有电机，电机的输出轴贯穿后壳和前壳的顶部且延伸至其内部并同轴连接有连接杆；本装置通过设置电机、连接杆、电动推杆、刮板等装置，通过电机带动刮板在本装置内转动，使得刮板能及时清理本装置内壁上附着的靶材残余，避免在长期使用后，因靶材未及时清理，而发生作业效率降低、镀膜质量变差、机械内的抽速变慢等不良影响；本装置通过在真空抽气泵正下方设置方框和过滤网板等，使得本装置在运行过程中，靶材会被过滤网板等过滤组件过滤，避免本装置工作时，其内部的靶材

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219363790 U (45)授权公告日 2023.07.18 (21)申请号 202320709327.0 (22)申请日 2023.04.03 (73)专利权人成都中科德联真空科技有限责任