输送结构及研磨设备.pdfVIP

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2023-07-20 发布于四川
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本实用新型涉及一种输送结构及研磨设备，输送结构包括输送件，输送件上形成有输送通道，输送通道贯穿输送件的两侧形成有输入口和输出口，输送件上还开设有与输送通道相连通的流出口，流出口位于输入口和输出口之间，输送件的数量为至少两个，一输送件可拆卸地连接在另一输送件上，其中至少一输送件的输入口或流出口用于输入研磨液，输出口与另一输送件的输入口相连通，另一流出口用于输出研磨液。输送件之间可拆卸使得输送结构整体的长度可调节，使得流出口能够对应晶圆的不同位置，由此将研磨液输送至晶圆上的不同位置或者使输送结构能够

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219359179 U (45)授权公告日 2023.07.18 (21)申请号 202223476378.8 (22)申请日 2022.12.26 (73)专利权人河源市艾佛光通