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本公开实施例提供一种体声波谐振器，包括：衬底；依次位于所述衬底上的反射结构、第一电极、混合压电层和第二电极；所述混合压电层至少包括第一压电层、第二压电层和至少一个调节层，所述第二压电层位于所述第一压电层上方，所述第一压电层的机电耦合系数与所述第二压电层的机电耦合系数不同；所述调节层用于调节所述混合压电层的机电耦合系数；所述调节层位于与所述第一压电层的同一结构层中和/或位于所述第二压电层的同一结构层中；所述调节层的面积小于所述第一压电层的面积，且小于所述第二压电层的面积。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219372405 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202223544476.0
(22)申请日 2022.12.27
(73)专利权人 武汉光钜微电子
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