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本实用新型涉及一种复合分子泵冷却装置，包括复合分子泵本体，所述复合分子泵本体的下表面固定有四个支撑底脚，所述复合分子泵本体的外侧套装有壳体，所述壳体的右侧设有水冷机构，所述壳体的左侧设有风冷机构。该复合分子泵冷却装置，在该复合分子泵冷却装置中设置了水冷机构，经水冷机构中各结构之间的相互配合，通过设置工业温度计和温度传感器，实现了对壳体内部的感应目的，当壳体内部的温度过高时，温度传感器向控制器发出信号，使控制阀打开，冷却水经进水管流入换热盘管，通过换热盘管对复合分子泵本体进行换热，对复合分子泵本体
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219366411 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320490139.3
(22)申请日 2023.03.15
(73)专利权人 北京泰岳恒真空设备有限公司
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