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本申请涉及半导体制备技术领域，本申请实施例提供了一种安装治具。上述安装治具中，安装治具用于安装摩尔环和保持器组件，安装治具至少包括治具本体，治具本体上设有通孔及定位槽，定位槽与摩尔环的凸部相对应，通过在定位槽内设置台阶部，以形成用于对保持器组件限位的第一容置空间以及用于对凸部进行限位的第二容置空间，进而使得摩尔环和保持器组件能够被限位，改善在安装过程中摩尔环和保持器组件之间产生偏移的情形，从而提高了安装效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219363780 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320226253.5
(22)申请日 2023.02.15
(73)专利权人 粤芯半导体技术股份有限公司
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