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本实用新型公开了一种蒸发器，涉及蒸发器领域，该蒸发器包括：容器、进气组件和出气组件，容器设有容腔，并包括位于容腔内的格栅，格栅将容腔分隔成至少两个升华腔，格栅设有连通口，升华腔之间通过连通口依次串联，容器还设有与首端升华腔连通的进气口及与末端升华腔连通的出气口；进气组件与进气口连接；出气组件与出气口连接；其中，固体产品通过载气从进气组件进入进气口，依次贯穿各升华腔，并从出气口向出气组件输出。本实用新型的蒸发器能够增大固体前体在蒸发器中暴露的表面积，并均匀受热，能够加快载气流完全饱和的速度。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219363795 U
(45)授权公告日 2023.07.18
(21)申请号 202320645198.3
(22)申请日 2023.03.28
(73)专利权人 大连恒坤新材料有限公司
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