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一种用于掩膜板干燥的多功能装置.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种用于掩膜板干燥的多功能装置.pdf

    本实用新型公开了一种用于掩膜板干燥的多功能装置，包括干燥箱体，待干燥的掩膜板置于干燥箱体内部，所述干燥箱体侧面设有箱门，干燥箱体内设有用于干燥掩膜板的干燥机，干燥机与外部的控制柜连接，所述干燥箱体的上、下内壁及与箱门对立的侧壁上分别设有上板、下板和后板，各板上间隔设有多个用于放置掩膜板的条形凹槽，上板与下板之间的凹槽相对设置且凹槽沿着掩膜板进入箱体的方向，后板上的凹槽方向与上板的凹槽垂直，干燥箱体顶面和箱门对立面分别设有用于驱动上板、后板移动的电液压杆，电液压杆与控制柜连接。本实用新型提高了掩膜

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214278626 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120597504.1 (22)申请日 2021.03.24 (73)专利权人 成都拓维高科光电科技有限公司

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