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一种外延膜生长设备.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种外延膜生长设备.pdf

    本实用新型公开了一种外延膜生长设备及分离方法，在外延膜生长设备的金属夹环与金属基板之间，设置分离销装置，分离销包括至少两个带有螺丝的连接件，连接件贯穿金属夹环，连接件的顶端抵接在金属基板表面，利用分离销的反向力，分离金属夹环与石英件，在金属夹环与石英件分离后，移动金属夹环，实现金属夹环与石英件的安全分离，减少损坏石英件的几率。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279928 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120684561.3 (22)申请日 2021.04.02 (73)专利权人 盛

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