2023年扫描电镜实验报告.docVIP

试验汇报 学院： 专业： 班级： 姓名 学号 试验组 试验时间 10/5/12 指导教师 成绩 试验项目名称 扫描电镜 试验目的 结合扫描电镜实物，简介其基本构造和工作原理，加深对扫描电镜构造及原理的理解。 选用合适的样品，通过对样品形貌衬度和原子序数衬度的观测，理解扫描电镜图像衬度原理及其应用。 试验规定 简述扫描电镜的基本构造及特点。 举例阐明扫描电镜表明形貌衬度和原子序数衬度的应用。 试验原理 在扫描电镜中，成象的信息重要是电子信息，根据近代的电子工业技术水平，虽然高速变化的电子信息，也能毫不困难的及时接受、处理和储存，故可进行某些动态过程的观测，假如在样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，则可以通过电视装置，观测相变、断烈等动态的变化过程。用扫描电镜观测厚块试样更有利，更能得到真实的试样表面资料。 扫描电镜重要有真空系统，电子束系统以及成像系统。 真空系统重要包括 真空泵和真空柱两部分。电子束系统由 电子枪和电磁透镜两部分构成，重要用于产生一束能量分布极窄的、电子能量确定的电子束用以扫描成象。电磁透镜：热发射电子需要电磁透镜来成束，因此在用热发射电子枪的扫描电镜上，电磁透镜必不可少。一般会装配两组：汇聚透镜、物镜（物镜为真空柱中最下方的一种电磁透镜，它负责将电子束的焦点汇聚到样品表）。电子通