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一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置.pdf

    本实用新型公开了一种弧源箱体与溅射箱体的密封装置，包括箱体，设置在箱体上的出料口，还包括安装在箱体上的固定架和支撑架，安装在固定架上的旋转气缸，安装在支撑架上的旋转轴，以及安装在旋转轴上的密封组件，旋转气缸上设置有输出轴，输出轴上安装有联轴器，联轴器另一端与旋转轴连接，本实用新型通过旋转气缸带动旋转轴转动，从而带动安装在旋转轴上的密封组件转动，实现密封组件和箱体的打开和密封，无需人工手动对箱体进行密封，有效的增加箱体的密封工作效率，同时采用旋转气缸实现装置的自动密封，不会出现因人工疏忽导致密封不

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214271024 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120381255.2 (22)申请日 2021.02.20 (73)专利权人 浙江云度新材料科技有限公司

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