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晶圆取放装置.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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晶圆取放装置.pdf

    本实用新型提供一种晶圆取放装置，用于转移晶舟内承载的晶圆，包括：移动组件、检测组件、以及反射单元。移动组件包括驱动单元及至少一个载片台。反射单元设置于晶舟的内壁，沿竖直方向设置，且位于每个隔板的上下两侧。检测组件包含至少一检测单元，设置于至少一载片台上，用于向反射单元发射检测光线并接受反射单元反射的检测光线。通过检测组件的光线发射部发射检测光线，经反射单元反射，返回光线接收部则说明晶圆取放装置定位准确，可继续动作；若任一个光线接收部接收不到检测光线，则说明晶圆取放装置定位不准确，立即停机并报警。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279933 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120413109.3 (22)申请日 2021.02.24 (73)专利权人 上海华力微电子有限公司

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