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一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备.pdf

    一种兼容硅片与玻璃片的静电吸盘装置及等离子刻蚀设备，属于等离子刻蚀技术领域，其中的静电吸盘装置，包括基座及其上设置的静电吸盘，静电吸盘上放置待刻蚀的硅片或玻璃片，基座的外周方向上设置有多组压紧调节机构，多个压紧调节机构将玻璃片的外周压紧，本实用新型的有益效果是，该静电吸盘装置整体结构简单，操作方便灵活，可将硅片或玻璃片有效吸附，而不会造成玻璃片的击穿，提高了吸附的安全性和刻蚀的稳定性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214279941 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120643605.8 H01J 37/32 (2006.01) (22)申请日 2

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