原创力文档- 1
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- 2023-07-21 发布于四川
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本实用新型提供一种晶圆载具进出气模组及进出气装置，包括：盘面、进出气组件以及第一连接管。盘面具有一凹槽，凹槽内具有若干进出气口。进出气组件包括第二连接管、第一连接件及第二连接件，第二连接管的两端分别通过第一连接件及第二连接件与进出气口及第一连接管连接，第二连接管的刚度大于第一连接管的刚度。通过第二连接管采用刚度大的材料及相应的连接方式，例如316EP不锈钢，并焊接固定连接，可使连接更牢固，避免脱落、漏气的风险；通过采用更细外径可使其高度均低于凹槽的深度，可解决盘面移动时与周边机台卡死的问题；其在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214279930 U
(45)授权公告日 2021.09.24
(21)申请号 202120536036.7
(22)申请日 2021.03.15
(73)专利权人 上海华力微电子有限公司
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