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曝光镜头及曝光装置.pdfVIP

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  • 2023-07-21 发布于四川
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曝光镜头及曝光装置.pdf

    本申请涉及一种曝光镜头，其包括用以优化光线以得到平行光的准直箱、反射箱、装配在反射箱顶部的DMD器件、以及成像镜箱，准直箱内设置有用以将平行光反射至反射箱内的第一反射镜，反射箱内设置有用以将进入到反射箱内的平行光反射至DMD器件的有效工作区域的第二反射镜，第二反射镜的安装角度为20°‑45°，与现有的曝光镜头相比，第二反射镜与第一反射镜之间的距离缩小，减小了曝光镜头的横向尺寸，增加了曝光镜头的纵向尺寸，得到的曝光镜头结构合理，在多个该曝光镜头同步移动对被曝光物进行曝光时，产生的光斑之间的距离小，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214278635 U (45)授权公告日 2021.09.24 (21)申请号 202120732243.X (22)申请日 2021.04.08 (73)专利权人 江苏迪盛智能科技有限公司

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