一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备与方法.pdfVIP

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2023-07-22 发布于四川
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一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备与方法.pdf

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一种有效实现金刚石中硅掺杂的设备，采用MPCVD系统，包括气体控制模块、微波模块和包括反应腔室的反应沉积模块；所述的反应沉积模块，包括石英窗、反应腔室、样品台和样品托，微波通过石英窗进入反应腔室，样品托置于样品台上在反应腔中；所述的样品托呈圆柱体状，样品托周围有进气环用于气体从下方进入，带孔样品托中心有直径为2mm的通孔，用于从下方进气，样品托通孔周围有倾斜面，倾斜面与水平面具有0‑90°的不同夹角，改变衬底的角度，进行不同角度沉积生长；由腔室下方通过样品托通孔通入甲烷和氮气，温度在760‑78

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116463609 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310328517.2 C23C 16/455 (2006.01)