清洗剥离装置与清洗剥离系统.pdfVIP

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本实用新型涉及一种清洗剥离装置与清洗剥离系统,包括框架,框架包括基板以及与基板相连接的立板;气孔,气孔设置在框架上,气孔包括多个出气孔以及与多个出气孔相连通的进气孔,多个出气孔均设置在基板和立板的内壁上;多个分布器,多个分布器均与框架相连接,分布器包括分布器头部和分布器柄部,分布器头部设置为球状结构且分布器头部内设置有中空腔体,分布器头部的表面设置有多个呈辐射状分布的鼓泡孔,多个鼓泡孔均连通中空腔体;分布器柄部的一端与分布器头部相连接、另一端与出气孔相连接,分布器柄部内中空设置有通气流道,通气流

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 219393340 U (45)授权公告日 2023.07.21 (21)申请号 202320276155.2 (22)申请日 2023.02.22 (73)专利权人 苏州鼎芯光电科技有限公司 地址

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