一种晶圆生产用清洁装置.pdfVIP

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2023-07-22 发布于四川
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一种晶圆生产用清洁装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆生产用清洁装置，涉及电子元件加工技术领域。本实用新型包括容纳箱、输送带、顶盖和清洁机构，容纳箱内部的四角对称固定有支柱，支柱顶部的内侧转动连接有滚轴，两根滚轴之间包覆连接有输送带，通过滚轴的旋转使输送带运转输送，输送带上设置有清洁机构，清洁机构用于对晶圆的固定，以保证不会互相碰撞，容纳箱的上端固定有顶盖，顶盖覆盖于输送带上方，顶盖用于固定管道类的输水结构，同时防止水流四射。本实用新型通过清洁机构、顶盖、容纳箱，解决了晶圆清洁时缺少相应的辅助固定结构和晶圆清洁不彻底，水资源

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214289613 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202022923088.8 (22)申请日 2020.12.09 (73)专利权人江苏宿芯半导体有限公司