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本实用新型公开一种芯片测试探针台防打火装置，属于半导体电子元器件制造技术领域，包括氮气、浮子流量计、通气管和洗气瓶，所述氮气通过浮子流量计和通气管通入洗气瓶中，洗气瓶中盛装有全氟聚醚油，使用氮气促进全氟聚醚油挥发成气体，所述洗气瓶的外部联接有出气管，通过出气管将挥发的气体分送至各探针台管道中。本装置使用氮气促进全氟聚醚油挥发，将挥发后气体由氮气输送至点测机台使点测芯片全部被全氟聚醚油气体覆盖杜绝集中电场电离现象，本装置能够为测试时每颗芯片提供全氟聚醚油气体氛围，增加生产效率，满足了生产需求，提高
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214310595 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023172851.4
(22)申请日 2020.12.24
(73)专利权人 山
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