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本申请公开了一种复合薄膜、其制备方法及双面卷绕式真空镀膜设备,属于真空镀膜技术领域。一种复合薄膜的制备方法,包括:提供柔性基材,所述柔性基材包括相对设置的第一表面和第二表面;在所述第一表面上形成第一合金层;在所述第一合金层上形成第一镀膜层;在所述第二表面上形成第二合金层;在所述第二合金层上形成第二镀膜层;在所述第二镀膜层上形成防粘连膜层;或者,在所述第一镀膜层上形成防粘连膜层。本申请可以解决当前金属薄膜与柔性基材之间结合力较差、极片表面的金属膜层容易相互粘连的问题,不仅可以提升生产效率,还可以提
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116463605 A
(43)申请公布日 2023.07.21
(21)申请号 202310454919.7 C23C 14/20 (2006.01)
(22)申请日 2023.04.
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