原创力文档- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本实用新型涉及一种防翘曲旋转载具，其包含一主基座盘、一次基座盘及一中央组件。主基座盘贯穿形成有至少一外围流道及一中央流道。次基座盘设于主基座盘上，且其周缘与主基座盘之间形成有一外围出气口。外围出气口为环形，且连通外围流道，并且朝向晶元的方向径向外侧倾斜出气。中央组件设于次基座盘的中央，且具有一中央出气口。中央出气口为环形，且连通中央流道，且于外围出气口的环形内侧的中央处。中央出气口朝向晶元的方向且径向外侧倾斜出气。通过在对应晶圆的中央处增设出气口，以在晶圆的中央产生支撑力从而避免晶圆的中央下陷产
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219393370 U
(45)授权公告日 2023.07.21
(21)申请号 202320267858.9
(22)申请日 2023.02.21
(30)优先权数据
111210648 2022.
文档评论（0）