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本实用新型提供了一种可模拟光罩的感测总成，包含有：一本体，内部具有一容置空间；该本体用以模拟一预定尺寸的光罩的运输过程与制程过程的至少一者；一感测模块，埋设于该本体的该容置空间内，用以感测该本体进行模拟时的至少一环境信息，据以计算出至少一量测数据；一电源，埋设于该本体的该容置空间内并电性连接于该感测模块，用以提供该感测模块运作所需的电力；一无线充电接收端，埋设于该本体的该容置空间内并电性连接于该电源，用以受外力驱动而为该电源充电；以及一充电盒，内部具有一充电空间供容置该本体；该充电盒具有一对应于
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219393345 U
(45)授权公告日 2023.07.21
(21)申请号 202320470573.5
(22)申请日 2023.03.13
(73)专利权人 微程式资讯股份有限公司
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