一种气浮转动平台.pdfVIP

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本发明涉及气浮转台领域,具体涉及一种气浮转动平台,气浮转动平台包括基座、旋转组件以及气浮组件;旋转组件包括旋转平台、旋转轴以及气浮轴套,气浮轴套设置在旋转轴与基座之间,气浮组件包括气浮轴承,气浮轴套设置在旋转轴与基座之间,在气浮轴套中通入气体能够使得旋转轴与气浮轴套之间形成第一空隙,气浮轴承设置在旋转平台与基座之间,在气浮轴承中通入气体使得气浮轴承与旋转平台之间形成第二空隙,则旋转轴与旋转平台置于气浮状态,当旋转平台或旋转轴受力旋转时,能够将基座与旋转轴之间的摩擦力降到最低,旋转平台相对于基座的

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116464709 A (43)申请公布日 2023.07.21 (21)申请号 202310731150.9 (22)申请日 2023.06.20 (71)申请人 中国科学院长春光学精密机械与物

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