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本实用新型公开了高纯度液体氯硅烷取样装置,包括取样器和处理池,取样器的外部设置有处理池,取样器包括支撑座和储液盒,支撑座的顶部固定安装有储液盒,且储液盒的顶部设置有取样口,取样口的端部连接有吸液管,且吸液管的外侧安装有第一控制阀,取样口的外部分别安装有氮气通入管和尾气排放管,此液体氯硅烷取样装置通过取样口与储液盒的快速卡接便于对储液盒的快速更换,通过刻度线与透明观察窗的配合设置便于控制取样量,避免了过量取样多少导致再次取样的情况,同时也避免了因过量取样造成对氯硅烷的浪费,通过处理池的设置便于对尾
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214309694 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023154319.X
(22)申请日 2020.12.24
(73)专利权人 武汉新硅科技潜江有限公司
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