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本实用新型公开了一种一体化混料设备，包括设备主体；所述设备主体包括混配釜、气动搅拌泵、气动搅拌泵进气阀门、进气阀门、油水分离器、气动送料泵进气阀门、气动送料泵、进料口阀门、混配釜出料阀门、混配釜进料阀门、出料口阀门、过滤器；本实用新型开发了一种可封闭式作业，以及封闭式内部循环过滤的设备，使用本一体化混料设备生产出的产品具体灰分低，水含量可控的优点，能满足半导体对于微电子产品的苛刻要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214287761 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202023159460.9
(22)申请日 2020.12.24
(73)专利权人 芯越微电子材料（嘉兴）有限公司
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