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一种CVD化学涂层炉，其特征在于：包括行车、炉体平台、冷却罩、加热罩、反应室、冷冻水系统、气路系统、电控柜；所述行车与所述炉体平台平行地安装在地面上；所述冷却罩、加热罩、反应室依次安装在所述炉体平台上；所述冷冻水系统包含冷凝阱、冷冻水水泵；所述冷凝阱使用管道Ⅰ与所述反应室连接；所述气路系统包含气体控制柜、铝发生器；本实用新型设置冷冻水系统，反应结束时，反应室内的高温尾气通过管道Ⅰ进入冷凝阱内，冷凝阱内的冷冻水对高温尾气进行冷却，冷却效果好，尾气能快速的下降到低温，不会对周围的环境产生。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214300345 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202120171623.0
(22)申请日 2021.01.22
(73)专利权人 厦门达斯自动化技术有限公司
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