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本实用新型涉及机械技术领域，且公开了一种半导体设备的监控装置，包括装置壳体，所述装置壳体的内侧下端活动插接有一号连接板，所述一号连接板上下贯穿开有连接孔，所述一号连接板的上端左右两侧固定连接有二号连接板，所述二号连接板的中部均开有连接口，所述连接口的内侧通过螺栓固定连接有输入输出口，所述一号连接板的上端固定连接有监控本体，所述装置壳体的内腔下端左侧固定连接有限位条，所述装置壳体的上端中部固定镶嵌有透明板，右侧的所述一号连接板的上端中部开有限位孔，所述装置壳体的右侧上部内侧开有收纳槽，该一种半导体
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 214313138 U
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202120173962.2
(22)申请日 2021.01.22
(73)专利权人 无锡迪渊特科技有限公司
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