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一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机.pdfVIP

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  • 2023-07-24 发布于四川
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一种片盒翻转组件、浸泡池和去胶机.pdf

    本实用新型公开了一种片盒翻转组件，包括：主动轴，设有第一传动端；旋转支撑杆，与所述主动轴交错，并通过齿轮组件传动连接所述第一传动端；片盒固定组件两端各设有一个旋转传动件，旋转传动件轴连接旋转支撑杆，片盒固定组件还包括连接所述旋转传动件的片盒安装板；其中，至少一个所述旋转传动件上设有限位组件。本实用新型解决了存放晶圆的片盒在浸泡池中无法旋转并定位的问题。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 214313149 U (45)授权公告日 2021.09.28 (21)申请号 202120532811.1 (22)申请日 2021.03.15 (73)专利权人 宁波润华全芯微电子设备有限公

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