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本实用新型公开了一种基于笼式结构的真空腔内共聚焦显微成像系统，包括：真空腔体、真空腔体密封盖、石英窗口片、三维电动位移台、振镜系统、显微物镜、荧光显微镜筒、笼式结构光机组件、激光器、单模光纤、光纤分束器、二向色镜、滤光片、成像CCD、单光子探测器、脉冲计数器、符合仪、计算机等。三维电动位移台和显微物镜置于真空腔体内部，振镜系统和显微系统主体置于真空腔体外部，显微系统主体采用稳定的笼式结构，由易安装的笼式结构光机组件组装而成。本实用新型具有集成度高、占用体积小、易于安装与调试、操作和维护简便等优点
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209895084 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20192
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