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本实用新型属于微型气体压缩机技术领域，具体涉及一种混联腔体驱动的微型压电气体压缩机，整体由套筒、上盖、上板、下板、下盖、第一驱动组块、第二驱动组块、第三驱动组块、密封圈、冷却套组成；上盖的下端面与上板的上端面之间安装有第一驱动组块，上板的下端面与下板的上端面之间安装有第二驱动组块，下板的下端面与下盖的上端面之间安装有第三驱动组块；所述第一驱动组块包括三个第一压电振子，第二驱动组块包括两个第二压电振子，第三驱动组块包括一个第三压电振子。特色及优势：通过各驱动组块内腔体个数递减的方式实现气体累积增压
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209892419 U
(45)授权公告日
2020.01.03
(21)申请号 20192
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