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本申请提供了一种石英舟，包括底座，底座的顶端等距固定设有若干第一定位部，底座的顶端等距开设有若干容纳槽，若干容纳槽与若干第一定位部一一对应，且容纳槽位于第一定位部的一侧，容纳槽内设置有第二定位部，第一定位部和第二定位部互配用于限位硅片。本申请通过设置的第一定位部，配合容纳槽，可以初步对相贴合的两个硅片进行限位，通过传动机构，可以驱动移位机构运作，在移位机构的作用下，可以使得第二定位部移动，进而可以使得硅片限位在第一定位部和第二定位部之间，从而使得硅片的边缘和向内的表面密封不会接触反应气体，从而避
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219418979 U
(45)授权公告日 2023.07.25
(21)申请号 202320392959.9
(22)申请日 2023.03.01
(73)专利权人 湖州硅石新能源科技有限公司
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