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本发明属于电沉积设备技术领域,具体公开一种可调式电沉积设备,包括电沉积槽、可拆卸贴附在电沉积槽的槽壁上的若干阳极板和具有若干通孔的隔层,隔层垂直设置于电沉积槽中并将电沉积槽均匀分为两个槽区;电沉积设备还包括两个旋转阴极件,两个旋转阴极件分别位于两个槽区,两个旋转阴极件通过控制其旋转状态来促进或阻隔两个槽区内流体交换。本发明具有电沉积效果好、电沉积均匀性高和电沉积速率可控性高的特点。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116479510 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310462646.0
(22)申请日 2023.04.26
(71)申请人 成都莒纳新材料科技有限公司
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