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无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置.pdf

    本实用新型提供一种无张力磁控溅射镀膜室及织物镀膜装置。该无张力磁控溅射镀膜室，包括真空腔体，真空腔体中设有镀膜辊和水平隔板；水平隔板将真空腔体分成传送室和溅射室；传送室中设有多个第一导辊；溅射室中设有多个溅射源，多个溅射源沿镀膜辊周向设置，相邻的溅射源之间设有一组第二导辊；第二导辊与镀膜辊之间具有供织物通过的间隙，且每组第二导辊中，相邻的第二导辊之间具有供织物通过的间隙；驱动设备驱动镀膜辊、第一导辊和第二导辊转动，以将织物由织物入口运送至织物出口。本实用新型提供的无张力磁控溅射镀膜室，能够增大织

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209906874 U (45)授权公告日 2020.01.07 (21)申请号 20182

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