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一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置.pdf

    本申请实施例涉及等离子体化学气相沉积技术领域，具体地，涉及一种化学气相沉积设备及其恒压原料保护装置。该恒压原料保护装置包括通过管路依次连通的气源、第一控制阀、第一调压阀、缓冲罐、第二调压阀、单体罐组件、第二控制阀以及抽真空装置；所述第一控制阀和第二控制阀均具有连通状态和断开状态；当所述第一控制阀处于断开状态、且所述第二控制阀处于连通状态时，所述气源与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间断开，所述抽真空装置与所述缓冲罐和所述单体罐组件之间连通，通过所述抽真空装置对所述管路进行抽真空，用于使所述气源与空气

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209890732 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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