拉晶集控系统及单晶炉.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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本发明提供了一种拉晶集控系统及单晶炉,涉及晶体生长技术领域。拉晶集控系统连接各个单晶炉,拉晶集控系统包括:数据采集模块、任务调度模块、远程控制模块;数据采集模块采集各个单晶炉的运行数据;任务调度模块基于拉晶阶段基准信息、各个单晶炉的运行数据,分别生成各个单晶炉对应的调度任务包,并进行调度任务提醒;远程控制模块在接收到与调度任务包对应的任务包控制操作的情况下,将任务包控制操作对应的指令发送至对应的单晶炉,以实现对对应的单晶炉远程操控。代替人工巡视,自动生成单晶炉对应的调度任务,对对应的单晶炉远程操

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116479521 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202210039661.X G06Q 10/0631 (2023.01) (22)申请日 2022.0

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