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一种基于偏振照明的同轴干涉散射显微成像装置,包括连续激光器、多个透镜、空间滤波器、波片、一个偏振分束镜、功率计、物镜、样品台、和多个反射镜,连续激光器的激光经一组透镜扩束准直并空间滤波后进入1/2波片,进行偏振方向调节。调节后的偏振光进入偏振分束棱镜将激光分为P光与S光,S光经物镜后宽场照明样品,颗粒散射光与反射光经物镜收集后进入偏振分束棱镜,该S光在偏振分束棱镜出射口形成部分正交偏振。本发明还提供一种基于偏振照明的同轴干涉散射显微成像装置的成像方法。本发明通过S光偏振照明并结合正交偏振原理,有
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116481983 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310461722.6 G01N 21/85 (2006.01)
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