一种陶瓷薄膜电路.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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本实用新型提供的一种陶瓷薄膜电路,其包括一基板及一溅射金属涂层,所述基板为纯度99.6%氧化铝的陶瓷基板,所述溅射金属涂层由内至外依次包括一电阻层、一粘附层及一导线层,所述电阻层为纯度99.9%的氮化钽层,所述粘附层为纯度99.9%的钛钨层,所述导线层为纯度99.99%的金层。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209906867 U (45)授权公告日 2020.01.07 (21)申请号 20182

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