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一种集成电路与微机电系统的直接键合装置.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种集成电路与微机电系统的直接键合装置.pdf

    一种集成电路与微机电系统的直接键合装置，包括太阳能电池，平坦化氧化层，对准金属接触部分，金属互连部分，焊点；平坦化氧化层与带有导电连接和密封的对准金属接触部分在低温直接键合，实现金属互连部分与高气密性的结合，金属互连部分和太能电池通过深硅刻蚀技术进行填充，焊点位于金属互连部分上。本实用新型的优点：本实用新型所述的集成电路与微机电系统的直接键合装置，原理结构简单，工艺稳定，提高了产品可靠性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209896051 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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