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多栅离子能量分析仪器及其探头.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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多栅离子能量分析仪器及其探头.pdf

    本实用新型公开了一种多栅离子能量分析仪器及其探头，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，且所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍。所述栅网由导体网丝编制而成，网孔中心电势势必比网丝电位低，会产生横向电场，网孔越大，这种效应越明显，由于等离子的德拜屏蔽作用，为了保证栅网竖向电场的有效性，设置所述探头的栅网的网孔孔径小于两倍的德拜半径，同时设置所述栅网中网孔孔径为所述栅网的网丝直径的10‑15倍，使得栅网网孔小而密，在保证透过率的同时，能够有效降低横向电场影响。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209896025 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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