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一种双电容式温湿度传感器.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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一种双电容式温湿度传感器.pdf

    本实用新型公开了一种双电容式温湿度传感器，包括衬底，衬底上依次设置有绝缘层和第一钝化层，第一钝化层上设置有多晶硅电极，多晶硅电极上方设置有叉指负电极和叉指正电极，叉指正电极表面覆有一层湿度敏感介质；叉指负电极和叉指正电极形成叉指结构，叉指负电极和叉指正电极之间有第一空气层，构成水平电容；叉指正电极与其下方的第二多晶硅电极直接连接，叉指负电极与其下方的第一多晶硅电极之间设置有第二空气层，且第一多晶硅电极上覆有第二钝化层，叉指负电极与第一多晶硅电极构成垂直电容。本实用新型提供的双电容式温湿度传感器，

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 209894749 U (45)授权公告日 2020.01.03 (21)申请号 20192

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