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- 2023-07-26 发布于四川
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本实用新型公开了一种氟化镱用沉积真空炉，涉及真空炉技术领域。本实用新型包括炉体、真空罐和真空泵，还包括除尘弯管，除尘弯管的一端连通炉体的内部，另一端连通真空罐，除尘弯管沿其长度呈“W”形折弯，除尘弯管“W”形的波谷处的外壁上螺纹连接有除尘筒，除尘弯管的波峰处的内部管道壁上转动连接有挡板。本实用新型通过设置气体节流电磁阀、“W”形除尘弯管和除尘筒，通过除尘筒进行灰尘和湿气的吸附，在突发事件发生，例如需要对除尘筒进行清理更换时，通过关闭气体节流电磁阀，再将除尘筒螺纹旋拧下来进行清理，解决了现在灰尘容
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 209910404 U
(45)授权公告日
2020.01.07
(21)申请号 20182
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