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本发明公开了一种自适应多尺寸基板的吸盘装置，包括：吸盘主体，所述吸盘主体内设置有多个吸附腔，多个所述吸附腔的一侧均设置有开口，相邻两个所述吸附腔之间设置有通风孔，所述吸盘主体的一侧设置有吸真空抽气口且所述吸真空抽气口与至少一个所述吸附腔相连通；被动压力差阀，所述被动压力差阀设置在相邻两个所述吸附腔的所述通风孔中，所述被动压力差阀根据相邻两个所述吸附腔之间产生的压强差值可选择性地开闭所述通风孔。本发明的吸盘装置能够自动根据基板的尺寸来调节吸盘的吸附面积，方便生产操作，且保证有足够的吸附力来固定基板
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116489889 A
(43)申请公布日 2023.07.25
(21)申请号 202310460188.7
(22)申请日 2023.04.25
(71)申请人 合肥芯碁微电子装备股份有限公司
地
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