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本实用新型公开了一种晶圆托盘装置，包括托盘主体和活动支架，托盘主体上至少设置有一个用于放置晶圆的晶圆槽及至少一个支架槽，每个晶圆槽对应一个或多个支架槽，每个支架槽内设置一活动支架，活动支架设置在晶圆槽的周围，且活动支架转动设置于对应的支架槽内且沿竖直方向上转动；当晶圆放入晶圆槽内，活动支架靠近晶圆的一端被晶圆压下，另一端翘起突出托盘主体上表面；当机械手夹爪压下活动支架的另一端，活动支架靠近晶圆的一端翘起，晶圆被顶起至机械手夹爪内，供机械手搬运晶圆。本实用新型设计简单巧妙、结构紧凑、成本很低、效率
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219409988 U
(45)授权公告日 2023.07.25
(21)申请号 202320399288.9
(22)申请日 2023.03.06
(73)专利权人 埃特曼 （苏州）半导体技术有限公
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