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带有图案的基板的制造方法.pdfVIP

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  • 2023-07-26 发布于四川
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带有图案的基板的制造方法.pdf

    一种带有图案的基板的制造方法，其包括：在基板上形成由感光性聚酰亚胺树脂组合物形成的膜的工序(a)；对上述膜进行曝光的工序(b)；通过使用显影液对经曝光的上述膜进行显影，从而在上述基板上形成由上述膜形成的图案的工序(c)，上述显影液与曝光前的上述膜的相对能量差(RED)为0.50以上且1.4以下。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116490534 A (43)申请公布日 2023.07.25 (21)申请号 202180080149.3 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事

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